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退火炉是做什么的?

2020/12/10 16:51:49


热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉,主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火;表面淬火件回火;焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。退火炉是一种新型换热设备。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,选用纤维结构,节电60%。

退火炉是在半导体器材制造中使用的一种工艺,其包含加热多个半导体晶片以影响其电功能。热处理是针对不同的效果而设计的。能够加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使细密沉积的薄膜,改动成长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉能够集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者能够自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完结的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,选用纤维结构,节电60%。