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耐高温隔热保温涂料在退火炉上的使用

2020/1/13 8:41:54


退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是为不同的效果而设计的。可以加热晶片进而激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
退火就是将金属缓慢加热到一定温度,保持足够时间,然后根据需要控制冷却速度,使用烧结窑隔热保温涂料,这种金属热处理工艺称为退火。目的是使经过铸造、锻轧、焊接或切削加工后的材料进行工件软化,改善其塑性和韧性,使化学成分均匀化,耐2000度高温隔热材料,去除残余应力。在这一过程中使用的设备称为退火炉。
其骨架由各种型钢焊接而成,外框用槽钢作主梁,围板采用冷薄板,台车用槽钢作主梁,底板及前后端板采用中板。
退火炉是节能型周期式作业炉,工作时升温降温操作比较频繁,熔块窑隔热保温涂料可以有效提升产品使用寿命,更能降低使用中的各种消耗,有效节约了企业的经济成本,早期的退火炉多采用重质高铝耐火砖砌筑,设计时保温层不完善,这就造成耗能增大、蓄热慢、散热快、冒黑烟、不能完整熄灭、热损失严重等缺点,从而形成退火动力应用率低、对四周环境净化不利、油料浪费严重、升温时间长、炉体易损等缺点,为此对其进行革新。